罗茨真空泵在高压力下，气体分子平均自由程比隙缝的宽度要小(<0.1-0.15毫米)，相对来说隙缝就有相当大的通导能力，易使大量的气体通过隙缝又返流到被抽容器中去，使泵不能有效地工作，相反，在低压力下，气体分子平均自由程增大，这时隙缝的通导能力就大为减小，即气体漏过微小隙缝的阻力增大，使泵能有效地工作，获得较高的压缩比，即获得较高的真空度。
因此，罗茨真空泵不能将被抽的气体直接排向大气，这样它就必须配置前级真空泵，使罗茨泵的排气端造成一定的预真空，否则不能获得较高的真空度。并且会因过载过热使转子卡住甚至损坏。