真空机组主泵的选择依据：(1)依据空载时真空室需要达到的极限真空来确定真空机组主泵的类型。选取主泵的极限真空要比真空室的极限真空高，通常高半个数量级到一个数量级。
(2)根据真空泵在工艺生产过程中所要求的工作压力来选主泵。常用的真空泵的工作压力范围。真空室的工作压力一定要保证在主泵抽速压力范围内。
(3)根据工艺生产中所放出的气体量,真空室内放气量及系统的总泄漏气量来选择主泵的大小。
(4)根据经济指标选取主泵。在同样能满足工作压力和抽气速率要求的真空泵中，进行投资费用和日常维护运转费用对比，选取性价比好的主泵。